热反射法薄膜导热仪

产品简介：热反射法薄膜导热仪 TF-LFA L54采用频域热反射（FDTR）非接触技术，专为精确表征纳米至微米级薄膜材料的热物性（导热系数、热扩散系数等）而设计。尤其适用于半导体、热电、LED等领域的功能性薄膜。技术优良，无需样品热容和密度已知，即可实现对薄膜及界面热阻的完整评估。

产品型号：TF-LFA

更新时间：2026-01-05

厂商性质：生产厂家

访问量：23260

服务热线

86-021-50550642

立即咨询

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

导热仪

LFA-激光导热仪 THB-瞬态热桥法导热仪 TIM-材料热阻导热测试仪 HFM-热流计 TLF-热反射法薄膜导热仪 PLH-微米薄膜导热测试系统

产品介绍

热反射法薄膜导热仪 TF - LFA L54

频域热反射导热仪 TF-LFA，是一种在频域内对薄膜热性能进行非接触表征的技术，可测量薄膜的导热系数、体积热容、热扩散系数、传热效率和边界导热系数。

薄膜是指厚度从纳米到微米范围的表面材料。由于厚度和温度的影响，它们的热物理性质与块状材料差别很大。薄膜通常用于半导体、热电材料、相变存储器、发光二极管、燃料电池和光存储介质等行业中，这些行业应用会在基底上沉积一层薄膜，以赋予设备特定的功能。

频域热反射导热仪 TF-LFA，是林赛斯与德国亚琛工业大学合作研发的，是在时域热反射法的基础上发展起来的新探测手段，FDTR（频域热反射）是一种在频域内对薄膜热性能进行非接触表征的技术。使用了波长为 532 nm 的连续激光（探测激光），同时使用不同波长（405 nm）的调制泵浦激光对样品进行加热。利用热扩散传输模型对频域响应进行建模，可以确定薄膜的导热系数、体积热容、热扩散系数、传热效率和边界导热系数。

独特功能

薄膜的完整热性能表征，无需提供薄膜的热容和密度。
接触热阻和导热系数的测定（测量两个相邻层之间的热接触，例如样品与表面或样品与传输层）。
可选的各向异性功能，允许测量面间（穿过材料）和面内（垂直于激光激发）方向的导热系数。
通过可选的样品成像选项，可以跟踪样品在特定区域或表面的热特性，非常适合材料均匀性检查。
对激光束聚焦进行自动优化，以改善测量结果。
相机选项通过提供额外的视觉信息简化了操作。这样使用户能看到样品表面的实际情况，从而确定样品上感兴趣的位置。

热反射法薄膜导热仪 规格参数

类型	TF - LFA L54
类型	TF - LFA L54
样品尺寸：	2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之间的任意形状
样品尺寸：	2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之间的任意形状
薄膜样品：	10 nm - 20 µm * （取决于样品）
温度范围：	RT， RT - 200 ℃ / 500 °C， 4'' 晶圆样品支架（仅限于室温）
气氛：	惰性、氧化或还原，真空度可达 10E^-4 mbar
热扩散系数测量范围：	0.01 - 1200 mm²/s （取决于样品）
泵浦激光：	泵浦激光器（405 nm，300 mW，调制频率高达 200 MHz）
探测激光：	CW Laser（532 nm，25 mW）
检测器：	Si 基光电探测器，有效直径：0.2 mm，带宽：DC - 400 MHz
软件：	包含使用多层分析计算热物理性质的软件包
* 实际厚度范围取决于样品